隨著科技的日益發(fā)展,，人們對(duì)工廠車間的地面工程要求越來越高,，做環(huán)氧砂漿薄涂,、環(huán)氧自流平、環(huán)氧彩砂地坪,、環(huán)氧防靜電自流平等地坪，車間的凈化要求越來越高,，那么電子廠凈化車間為什么要控制溫度呢,？

      溫濕度主要是根據(jù)加工工藝要求來確定，在舊廠房改造廠家足加工工藝的條件下,，首選應(yīng)該考慮人的舒適感,。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越高,，必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí),。  

     電子廠凈化車間的溫濕度主要是根據(jù)加工工藝要求來確定。隨著空氣潔凈度要求的提高,，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越高,，必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小,。直徑100um的硅片，溫度上升1度,，就引起了0,。24um線性膨脹，所以必須有±0,。1度的恒溫,，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染,，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度,。泉州電子廠凈化車間濕度過高產(chǎn)生的問題更多,。相對(duì)濕度超過55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,，如果發(fā)生在精密舊廠房改造廠家置或電路中,，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹,。   

     然而對(duì)于大部分潔凈空間,，為了防止外界污染侵入,，需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：
1,、電子廠凈化車間潔凈度級(jí)別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級(jí)別低的空間的壓力,。  

2、相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級(jí)別高的房間,。  

 要求也越來越高,，必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。
     隨著空氣潔凈度要求的提高,，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越高,，必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小,。直徑100um的硅片，溫度上升1度,，就引起了0,。24um線性膨脹，所以必須有±0,。1度的  

1,、送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比,，要舊廠房改造廠家求速度衰減更快,，擴(kuò)散角度更大  

2、吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,，以免吹起表面微粒重返氣流,，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0,。2m/s,。
在我國(guó)，《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范))都是這樣規(guī)定的
垂直平行流(層流)潔凈室≥0,。25m/s
水平平行流(層流)潔凈室≥0,。35m/s  

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